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csys激光掃描表面形狀檢查機(jī)CSYS12-300介紹?

更新時(shí)間:2024-03-07      瀏覽次數(shù):282

激光掃描表面形狀檢查機(jī)

核心系統(tǒng)“CSYS"系列的激光掃描寬度為40毫米,可以測量大范圍內(nèi)的微小高度變化。其他公司無法重現(xiàn)實(shí)際的表面變化,因?yàn)樗鼈儗⑿^(qū)域的數(shù)據(jù)圖像拼接在一起。

核心系統(tǒng)是“激光表面形狀檢查機(jī)",可檢查半導(dǎo)體晶圓(Si、SiC、GaN等)、MEMS、硬盤、FPD用功能膜、濺射薄膜等的“表面形狀"和“粗糙度"??梢愿哽`敏度、快速、大范圍地檢查“起伏"、“顆粒"、“劃痕",并顯示“數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)"和“3D圖像數(shù)據(jù)" ."


【特征】

① 非接觸式激光掃描顯示表面形狀(粗糙度、波紋度、劃痕、污垢、顆粒)測量數(shù)據(jù)

② 檢測靈敏度高,可在較寬的測量范圍內(nèi)進(jìn)行快速測量,并可進(jìn)行數(shù)字圖像顯示。

③ 光學(xué)檢測原理和結(jié)構(gòu)簡單,可靠性高

④ 由于40毫米的掃描寬度是在2.8毫秒的短時(shí)間內(nèi)完成掃描的,因此具有的抗振能力,不需要隔振臺(tái)或隔振裝置。

⑤ 所有在線過程的無損檢測,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化


[被測工件]

半導(dǎo)體晶圓、硬盤、金屬薄膜、薄膜、FPD、MEMS等

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