EddyCus在線SR /工具集成式非接觸在線薄層電阻監(jiān)控解決方案
這種非接觸式薄層電阻監(jiān)測系統可在制造過程中直接高速、非接觸地測量薄層電阻。典型的工藝包括在晶片、箔、紙、聚合物或其他襯底上的PVD、CVD、電鍍或傳統沉積工藝。特別地，這些工藝包括濺射、蒸發(fā)、外延或電鍍工藝。此外，這還涉及噴涂、縫模涂布或電子印刷工藝。此外，薄膜退火和摻雜或印刷電子器件燒結等薄層電阻增強工藝受益于電氣完整性的在線監(jiān)測。氧化、蝕刻、拋光以及清潔和干燥過程的影響也是這種先進測試技術的廣泛應用范圍的一部分。薄層電阻值通常被傳送到MES系統用于質量保證，特別是用于過程控制。
更新時間：2024-04-02 
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