德國FITOK氣動隔膜閥DPT系列的產(chǎn)品介紹

更新時間：2024-08-22

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德國FITOK氣動隔膜閥DPT系列的產(chǎn)品介紹

簡介

飛托克 DPT 系列兩段式氣動隔膜閥專用于半導體行業(yè)，其通過小流量和大流量之間的快速切換以緩和腔體內(nèi)壓力上升，用于防止流體急驟流入半導體制程機臺的腔體等內(nèi)部而造成微粒四處飛揚污染腔體。相對于傳統(tǒng)的通過增加旁路管道來調(diào)節(jié)壓力的方式，兩段式氣動隔膜閥更節(jié)省空間和成本。

德國FITOK氣動隔膜閥DPT系列的產(chǎn)品介紹

特征

1.可在小流量和大流量間快速切換

2.鈷合金隔膜強度高、耐腐蝕，使用壽命長

3.極少產(chǎn)生顆粒和死區(qū)

4.內(nèi)部無螺紋和彈簧

技術參數(shù)

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